.png){kind=icon}
仪器列表
仪器设备 >
精密仪器与光电子工程学院 >
仪器详情
二氧化硅离子刻蚀仪
仪器编号
2012002368
规格
生产厂家
Tecliliuk Equipmeut Techuoloqy
型号
Lam590
制造国家
美国
分类号
放置地点
卫津路校区东阶
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05
主要规格及技术指标
刻蚀速〉1000A/min 刻蚀均匀性〈5%
主要功能及特色
微机电器件制备与研究
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
版权所有 © 天津大学 访问量: 20655987 系统开发商: 天津市基理科技股份有限公司