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仪器详情
电子束光刻机
仪器编号
2025010184
规格
生产厂家
北京金竟科技有限责任公司
型号
Pharos E310
制造国家
中国
分类号
放置地点
第49教学楼
出厂日期
2024-05-01
购置日期
2023-09-01
入网日期
2026-03-10
主要规格及技术指标
· 加速电压：200eV-30 kV
· 电子束束流：5pA-200nA
· 电子束束斑尺寸：≤2.0nm@30kV
· 写场速度：最高可达到20MHz pixel frequency
· 最大写场尺寸：1000μm×1000μm
· 分辨率(最小线宽)：≤15nm*
· 拼接精度：≤±50nm(mean+3σ)
· 套刻精度：≤±50nm(mean+3σ)
· 样品台移动范围：100mm
· 可加工样品的最大尺寸：4英寸晶圆
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
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