热蒸发镀膜机已完成安装调试，现开放试运行，欢迎预约使用！

一、仪器介绍

本设备是一款易于操作的小型电阻蒸发镀膜仪，用于制备多种类型的薄膜。设备的操作部分硬件采用PLC 和触摸屏一体机。

二、主要技术参数

1、蒸发电源：

（1）蒸发源工作电压：0 V ~ 10 V

（2）电源输出电流：0 A ~ 225 A连续可调

2、直流电源：

（1）直流电源最大输出功率：500 W

（2）直流电源工作电压：0 ~ 1500 V

（3）最大工作电流：0.5 A

3、膜厚监控仪：

（1）厚度范围0-99u9999 Å

（2）速率范围0-999.9 Å

（3）厚度显示分辨率1 Å

（4）速率显示分辨率0.1 Å

（5）设置镀膜厚度1-99u9999 Å

（6）镀膜层数100 层

三、功能特色

1、可对基片进行等离子体清洗

2、基片最高可加热至500摄氏度

3、共有3个蒸发源

4、蒸发镀膜时可进行镀膜控制，比如控制镀膜时间和膜厚等

四、送样制备要求

1、基片直径小于9cm。

2、禁止蒸镀有毒有害物质。

3、送样制备前需与杨老师联系。

五、试运行收费标准

1. 试运行期间免费测试，试运行结束后恢复正常收费标准。

实验室地点：49-116

联系人：杨老师

电话：13752445035

邮箱：yang.yang@tju.edu.cn

预约使用培训暂定6月11日上午9：30。欢迎广大师生请大家及时关注仪器公告并申请参加培训，体验高效科研新利器！